机器人第七轴是集计算机、控制论、机械、信息与传感技术、人工智能等学科于一体的高新技术。又称机器人行走轴、地面轨迹、机器人轨迹等,其主要功能是驱动工业机器人按照指定的路径移动,从而扩大机器人的工作半径,扩大机器人的使用范围,进一步提高机器人的效率,降低机器人的成本,实现全面自动化生产。
机器人第七轴有三种类型:开放式行走轴、封闭式行走轴和悬浮式行走轴。

第七轴的优点:
1、有效行程可根据实际使用需要进行调整和定制;
2、运动由机器人直接控制,无需添加控制器;
3、第七轴防护性能好,可应用于点焊、涂胶、搬运等行业;
4、伺服电机控制,精密减速机和重型滚轮导齿条驱动,重复精度高;
5、第七轴结构简单,维修方便。
湿法设备晶圆搬运易遇腐蚀、滴液、卡涩等痛点,专用洁净伸缩叉通过耐腐材料、导流排液等专项设计,结合实际案例验证,可降低运维成本、提升设备效率与晶圆良率。
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